■MEMS用統合解析ソフト IntelliSuite
●MEMS用統合解析ソフト IntelliSuite…
MEMS設計専門ソフトウェアの統合設計環境による設計情報の共有、連携が可能。
2Dマスク描画からプロセス工程設計、3次元デバイス解析、システム解析まで、MEMS設計全般をサポート。
MEMSマクロモデルデータ機能による高精度システム解析。
Wet, Dryエッチングシミュレータの較正機能による形状予測解析の改善。
新バージョンIntelliSuite v9.0の新機能を紹介。
-非線形デバイス挙動に対応するMEMS3Dモデル/システムモデル解析
-マスク/3Dプロセスモデリングツールと物理エッチングシミュレータによるプロセス設計機能のアップデート
-金属、他材料ウェット/Siドライエッチング向け物理シミュレーションのカスタム対応事例
ブースでは担当者が直接製品をご紹介、またデモを行います。
是非お立ち寄りください。
| イベント名 | ：第13回MEMS Engineer Forum |
| 開催日時 | ：2022年4月20日～21日 |
| 開催会場 | ：両国 KFCホール |
| 公式HP | ：https://www.m-e-f.info/ |