MEMS用統合解析ツールIntelliSuiteは、MEMS設計用のソフトウェアツールです。 その解析機能は、デバイス解析のみならず、プロセス、システム分野の解析/設計も視野に入れた、統合的な設計環境を実現するツールです。下記はIntelliSuiteが保有するプロセス/機械設計向け2D/3DCADデザイン、MEMS用解析FEMモデル作成ツールです。