機能
3D physical プロセスシミュレータ FabSim -機能
- IntelliEtch, IntelliEtch MetalのSi,水晶,金属向けWetエッチングシミュレーション機能
- RECIPE3DのIsotropic, DRIE, Boschプロセス向けDryエッチングシミュレーション機能
- SCREAMプロセス向けDryエッチングシミュレーション機能
- ExposureのSU8向けUV リソグラフィプロセスシミュレーション機能
- IntelliFabモデルを使用した複合プロセスフローによる、Wet/Dryエッチング、Deposition, UV lithography, Bonding工程が混合した複雑なプロセス形状工程を反映したフィジカルエッチングシミュレーション
- 指定実験方法による実験画像を使用したSi、水晶向けエッチングレートデータ作成機能
- Wet/Dryエッチングの実験加工形状情報をベースにしたシミュレーションモデル
- 分子結合モデル/エッチングレート情報によるエッチング対象材料の拡張カスタマイズが可能。
ユーザーが希望したサファイヤ、InP、金属に対応済み。
- エッチング結果形状の3DCADファイル出力
- プロセス工程レポートのパワーポイントファイル出力
特徴
- 高次面を考慮した高精度エッチングシミュレーションが可能
- AB-initio効果を考慮した解析が可能
- 信頼性の高いエッチャント/エッチレートデータベース
- RIE, ICP と Boschプロセスの3次元Dryシミュレーションが可能
- サイドウォールアングルとエッチングラグのシミュレーション
- 加工過程形状影響を考慮したDryエッチングシミュレーション
- 複合したプロセスフローによる複雑形状への各種エッチング
- エッチング対象材料の拡張が可能（結晶、純金属、合金など）
- 高速で正確なシミュレーション
- 3Dシミュレーション結果形状の任意断面を簡易に確認可能
- ユーザーフレンドリーなインターフェース
