TEM(ThermoElectroMechanical)は、MEMS解析に特化した熱-電場-構造の連成現象の解析モジュールです。このモジュールのみで、電磁駆動以外の駆動、センサーMEMSの設計が可能です。また、FBARなどの圧電材料を用いた共振器の設計も可能です。さらに、SME(System Model Extractor)機能によるMEMS用N-DOFシステムモデル作成も可能です。